PFSA140 3BSE006503R1 卡件

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力覺(jué)傳感器

　　力覺(jué)傳感器用于測(cè)量?jī)晌矬w之間作用力的三個(gè)分量和力矩的三個(gè)分量。機(jī)器人中理想的傳感器是粘接在依從部件的半導(dǎo)體應(yīng)力計(jì)。具體有金屬電阻型力覺(jué)傳感器、半導(dǎo)體型力覺(jué)傳感器、其它磁性壓力式和利用弦振動(dòng)原理制作的力覺(jué)傳感器。

　　由于機(jī)器人發(fā)展歷史較長(zhǎng)，近年來(lái)普遍采用以交流永磁電動(dòng)機(jī)為主的交流伺服系統(tǒng)，對(duì)應(yīng)位置、速度等傳感器大量應(yīng)用的是：各種類(lèi)型的光電編碼器、磁編碼器和旋轉(zhuǎn)變壓器。

　外傳感器

　　以往一般工業(yè)機(jī)器人是沒(méi)有外部感覺(jué)能力的，而新一代機(jī)器人如多關(guān)節(jié)機(jī)器人，特別是移動(dòng)機(jī)器人、智能機(jī)器人則要求具有校正能力和反應(yīng)環(huán)境變化的能力，外傳感器就是實(shí)現(xiàn)這些能力的。

　　觸覺(jué)傳感器

　　微型開(kāi)關(guān)是接觸傳感器常用型式，另有隔離式雙態(tài)接觸傳感器(即雙穩(wěn)態(tài)開(kāi)關(guān)半導(dǎo)體電路)、單模擬量傳感器、矩陣傳感器(壓電元件的矩陣傳感器、人工皮膚——變電導(dǎo)聚合物、光反射觸覺(jué)傳感器等)。

　　應(yīng)力傳感器

　　如多關(guān)節(jié)機(jī)器人進(jìn)行動(dòng)作時(shí)需要知道實(shí)際存在的接觸、接觸點(diǎn)的位置(定位)、接觸的特性即估計(jì)受到的力(表征)這三個(gè)條件，所以用上節(jié)已指出的應(yīng)變儀，結(jié)合具體應(yīng)力檢測(cè)的基本假設(shè)，如求出工作臺(tái)面與物體間的作用力，具體有對(duì)環(huán)境裝設(shè)傳感器、對(duì)機(jī)器人腕部裝設(shè)測(cè)試儀器用傳動(dòng)裝置作為傳感器等方法。

 MKS P5A869503H6T021 
AMAT Applied Materials 0040-01275 
Nikon 4S018-831 LIUBPB2X2 NSR-S204B 
Nikon 4S013-212-3 WL3SLDR NSR-S204B
Carpenter Ceramics IN0440-1003
Kensington Laboratories 4000-60048 
ASML 4022.470.8445
Ultratech Stepper 03-20-01299 
UNIT Instruments UFC-1100 
UNIT Instruments UFC-8160 
HP Hewllet-Packard AD239A 
Wasco V110U-31W3A-X/6284 
MRC Materials Research A116985
Turck FCS-K20-AP8X
VAT 28332-GE01-0002 
Meiden JZ85Z-11 
Electroglas 248057-001 
Entegris BT8-8FN-1