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上海捷鈦儀器設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2025-06-04 17:05:44瀏覽次數(shù)：26次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐原理：通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
原理：通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量硬質(zhì)薄膜和晶體。
應(yīng)用：
大尺寸寶石級(jí)單晶鉆石；
高取向度金剛石晶體；
納米結(jié)晶金剛石；
碳納米管/類金剛石碳 ( DLC )。
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MPCVD爐
產(chǎn)品特點(diǎn)
無(wú)需在樣品腔內(nèi)安裝內(nèi)部電極，在沉積腔內(nèi)，沒有工作氣體以外的任何物質(zhì)，潔凈，無(wú)污染源。等離子發(fā)生器可以保持長(zhǎng)壽命，并可以確保腔內(nèi)的等離子體的均勻分布，進(jìn)一步提升晶體的純凈度和生長(zhǎng)周期；
腔外多電極設(shè)置，確保等離子團(tuán)穩(wěn)定生成于腔內(nèi)中心位置，對(duì)腔壁、窗口等無(wú)侵蝕作用，減少雜質(zhì)來(lái)源，提高晶體純度。合成的金剛石，純度均在VVS級(jí)別以上；
電子溫度和離子溫度對(duì)中性氣體溫度之比非常高，運(yùn)載氣體保持合適的溫度，因此可使基底的溫度不會(huì)過高；
微波發(fā)生器穩(wěn)定易控，能在從1000Pa到室壓的高壓強(qiáng)環(huán)境下維持等離子體，在氣流、氣壓、氣體成分、電壓出現(xiàn)波動(dòng)時(shí)，確保等離子體狀態(tài)的穩(wěn)定，保證單晶生長(zhǎng)的過程不被上述干擾而中斷，有利于獲得大尺寸單晶金剛石；
可以采用磁約束的方法，約束在等離子團(tuán)在約定的空間內(nèi)，微波結(jié)和磁路可以兼容；
安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，微波泄漏小，容易達(dá)到輻射安全標(biāo)準(zhǔn)；
可搭配多種功率微波源和不同尺寸腔體，滿足從實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備到工業(yè)大型裝置的不同需要?？梢詫?duì)300mm直徑的襯底沉積金剛石薄膜；
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