序號(hào)項(xiàng)目詳細(xì)說明1光源燈管類型LED2燈管廠家(品牌)日本3燈管波長365nm365+405nm4　燈管光強(qiáng)新燈管光強(qiáng)強(qiáng)度5-50MW/CM25　均勻度要求（9點(diǎn)測(cè)量）均勻度≥95%6　平行半角≤2度利用光斑計(jì)算三角形的直角邊得到夾角7燈管保證使用壽命（H）20000H8對(duì)位CCD4個(gè)(紅外黃光)9CCD分辨率(像素)200萬10對(duì)位方式自動(dòng)抓靶對(duì)位11對(duì)位形式A

詳細(xì)介紹

序號(hào)		項(xiàng)目	詳細(xì)說明
1	光源	燈管類型	LED
2		燈管廠家(品牌)	日本
3		燈管波長	365nm 365+405nm
4		燈管光強(qiáng)	新燈管光強(qiáng)強(qiáng)度5-50MW/CM2
5		均勻度要求（9點(diǎn)測(cè)量）	均勻度≥95%
6		平行半角≤2度	利用光斑計(jì)算三角形的直角邊得到夾角
7		燈管保證使用壽命（H）	20000H
8	對(duì)位	CCD	4個(gè)(紅外黃光)
9		CCD分辨率(像素)	200萬
10		對(duì)位方式	自動(dòng)抓靶對(duì)位
11		對(duì)位形式	A.上底片與下底片之間自動(dòng)對(duì)位。 B.上底片與制程板之間自動(dòng)對(duì)位(孔或PAD)
12		對(duì)位精度	一次熔絲上下菲林對(duì)位精度小于15um 二次菲林與產(chǎn)品對(duì)位精度小于15um
13	解析能力	最小解析線寬能力	25um
14	性能要求	制作板子厚度	0.1--2mm
15		有效曝光面積	66英寸（實(shí)際曝光面積需要大于66英寸）
16		產(chǎn)能要求	3-4片/min，從上板到下板
17		操作方式	觸控式操作界面
18		曝光方式	雙面曝光
19		底片安裝方式	上下底片真空吸附，自動(dòng)安裝。
20		作業(yè)產(chǎn)品	干膜
21		機(jī)臺(tái)尺寸	高長寬：180012001200
22		真空值、真空均勻性能力	大于-80kpa
23		臺(tái)面平整性	≤0.1mm
24		底片架設(shè)	半自動(dòng)
25		作業(yè)方式	底片安裝（作業(yè)員）→放入基板后（作業(yè)員）→上下底片自動(dòng)對(duì)位（上下底片與產(chǎn)品自動(dòng)對(duì)位）→對(duì)位判定OK后→開始抽真空→真空達(dá)到要求后進(jìn)行自動(dòng)曝光→曝光完成后自動(dòng)出料（曝光結(jié)束）
28	附加功能	數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、	可增加掃碼功能,作業(yè),對(duì)位數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

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