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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品： 真空泵,真空泵油,真空泵耗材,真空泵維修 |
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更新時(shí)間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：676
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擴(kuò)散泵的工作原理。
九 氣體捕集式真空泵
氣體捕集式真空泵是利用物質(zhì)表面的物理和化學(xué)吸附作用，清除系統(tǒng)空間的氣體分子，從而獲得*的真空度 , 并且得到清潔的真空環(huán)境。應(yīng)用在空間技術(shù)、高能物理、微電子等*技術(shù)領(lǐng)域。這類泵有以下幾種類型：
9.1 低溫泵
低溫泵的原理是：設(shè)法使某一固體表面溫度足夠低，使其低于空氣中主要?dú)怏w成分的飽和蒸汽壓溫度，則空氣中的大部分氣體被凝結(jié)。
實(shí)際使用上，是在泵的低溫表面上粘貼固體吸附劑，這種泵叫做低溫吸附泵。吸附劑可以是非金屬 , 如活性碳、分子篩等 ; 也可以將蒸發(fā)或升華在冷面上的鈦、鋯、鉬等金屬或其合金作為吸附劑。另外 , 像二氧化碳、水蒸氣這樣易冷凝的氣體 , 在低溫表面被冷凝時(shí)，能將不易冷凝的氣體（如氦）也一起埋葬或捕集吸附。
9.2 濺射離子泵
利用電磁場(chǎng)激發(fā)產(chǎn)生離子，離子在電場(chǎng)作用下轟擊鈦板，濺射出來的鈦原子沉積在陽極筒和陰極板上，形成鈦膜而吸氣。
9.3 鈦升華泵
用加熱的辦法使鈦升華在一個(gè)冷卻的表面上，對(duì)氣體進(jìn)行薄膜抽氣的裝置。
：鄧
