詳細(xì)信息
●平移范圍:12.5mm;取樣長度(L)** 0.25,0.8,2.5㎜
●測量范圍 300μm(±150μm)
●測頭:金剛石(測頭半徑:5μm/2μm* )
●測量力:4mN/0.75mN
●探測方式:微感應(yīng) 評定輪廓:P,R
●估計參數(shù):Ra,Ry,Rz,Rp,Rq,Sm,S,Pc,R3z,mr
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