肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡能長時(shí)間穩(wěn)定地提供高電流下的微細(xì)探針，與View?2XP（Gatan公司制造）結(jié)合使用，能對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)切割，自動(dòng)獲取圖像。通過對(duì)獲得的圖像進(jìn)行三維重構(gòu)，可以對(duì)精細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維分析。