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電動(dòng)真空閥

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產(chǎn)品型號(hào)EVB

品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【停產(chǎn)產(chǎn)品】代替產(chǎn)品：IAVB系列通過(guò)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)調(diào)整閥的開度，實(shí)現(xiàn)了多種導(dǎo)率的電動(dòng)真空閥。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（前工序）半導(dǎo)體制造工序（后工序）

詳細(xì)介紹

【馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，30點(diǎn)開度設(shè)定】
根據(jù)外部信號(hào)通過(guò)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)調(diào)整開度。
最小間距0.15mm（NW25時(shí)）。
簡(jiǎn)易的導(dǎo)率可變系統(tǒng)及真空控制的自動(dòng)化。

【開度監(jiān)視功能、各種信號(hào)輸出功能】
內(nèi)置編碼器，可監(jiān)視當(dāng)前開度。
具備閥開、閥閉狀態(tài)的動(dòng)作完成信號(hào)、報(bào)警輸出功能，使用更放心。

型號(hào) 名稱 配管方式 備注
EVB※17電動(dòng)真空閥NW25, 40, 502021年03月31日
銷售中止舊的目錄

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