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半自動(dòng)CCD檢查5K平行曝光機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)UVE-HSP5KMC

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廣東海圣科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳細(xì)介紹詳細(xì)參數(shù)內(nèi)容規(guī)格A.一般規(guī)格電力系統(tǒng)AC380V350/60HZ平行光系統(tǒng)光源：Hg-Xe短弧燈

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)介紹
詳細(xì)參數(shù)

內(nèi)容	規(guī)格
A.一般規(guī)格
電力系統(tǒng)		AC380V 3φ 50/60HZ
平行光系統(tǒng)	光源：Hg-Xe短弧燈，輸出功率5KW,單燈，雙面曝光
	平行半角（CHA）約2°
	傾斜角（DA）：<2°
	均勻度：85%以上
	強(qiáng)度：15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺(tái)面上量測(cè)
	有效曝光面積：22'*25"
底片規(guī)格	尺寸：24"*27"

Panel規(guī)格	尺寸：305305mm至559635mm(12"12"至22"25")
	厚度：0.05mm(不含銅)至2mm
曝光作業(yè)	高強(qiáng)度/雙面曝光
對(duì)位系統(tǒng)	1.CCD數(shù)量：2個(gè)/4個(gè)可選
	2.對(duì)位方式：上下底片手動(dòng)對(duì)位，CCD自動(dòng)檢測(cè)
	3.對(duì)準(zhǔn)精度：±12.5μm(不含底片漲縮)
	4.底片固定：雙溝槽式真空吸附


曝光量設(shè)定	可程式時(shí)間設(shè)定曝光；可程式能量設(shè)定曝光
操作方式	操作系統(tǒng)：大型觸控制式熒幕操作介面
機(jī)臺(tái)尺寸	外部尺寸：3390L1545W2150+120Hmm 環(huán)控箱：L1300W700H1930


B.系統(tǒng)架構(gòu)
曝光臺(tái)框	雙曝光臺(tái)面，玻璃VS玻璃


冷卻	曝光室：氣冷，抽取室內(nèi)空氣加溫度控制經(jīng)HEPA吹入曝光室
	燈室：氣冷（內(nèi)循環(huán)）
潔凈控制	潔凈度等級(jí)：Class 1000 HEPA 過(guò)濾網(wǎng)
UV光源監(jiān)控


	光源保護(hù)：UV燈源點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù)
	功率控制：D/A轉(zhuǎn)換瓦數(shù)微調(diào)輸出狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、電流、功率及UV強(qiáng)度感測(cè)器
	遮光器：橫向開啟，裝置于燈室內(nèi)，由無(wú)桿缸帶動(dòng)
	曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算器


客戶周邊配合	1.電力NFB40A
	2.氣壓源：5kg/cm²以上 3.冰水系統(tǒng)：7-11℃ 40L／min,1"管徑2,1/2" 管徑1
備注	1.不銹鋼外殼 2.氣動(dòng)遮光門