并聯(lián)運動
在多軸并聯(lián)系統(tǒng)中，所有促動器直接作用于單一運動平臺。這意味著可以為所有軸設(shè)計相同的動態(tài)特性，從而大幅降低移動質(zhì)量。額外優(yōu)勢：并聯(lián)運動系統(tǒng)可比串行堆疊或嵌套系統(tǒng)設(shè)計得更緊湊。單個軸的誤差和質(zhì)量不會累積。
PICMA®壓電陶瓷促動器
PICMA®促動器具有全瓷絕緣，因而其性能和使用壽命遠遠優(yōu)于傳統(tǒng)促動器。陶瓷絕緣層可保護整體式壓電陶瓷塊，以防止?jié)駳饣蚵╇娏髟龃笤斐傻墓收?。這么一來，即使是在環(huán)境條件下也可實現(xiàn)超高穩(wěn)定性。對比機動化驅(qū)動器，此類驅(qū)動器無旋轉(zhuǎn)件或摩擦。因而，該壓電陶瓷促動器無空回、免維護、無磨損。
柔性鉸鏈導(dǎo)向
柔性鉸鏈導(dǎo)向是一種沒有靜摩擦和滑動摩擦的元件。它基于固體（如鋼材）的彈性形變（彎曲），沒有滾動或滑動部件。柔性鉸鏈元件具有高剛性和負載能力。柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無磨損。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作，無需潤滑劑。
電容式傳感器
電容式傳感器直接在運動平臺上測量位置（直接計量），工作時無接觸。摩擦和滯后都不會影響測量，可同時實現(xiàn)優(yōu)異的線性度數(shù)值和高位置分辨率。電容式傳感器可實現(xiàn)的分辨率、穩(wěn)定性和帶寬。
ID芯片
ID芯片位于Sub-D連接器。當平臺在工廠內(nèi)利用數(shù)字電控進行校準時，校準數(shù)據(jù)與特定產(chǎn)品信息被同時保存在ID芯片上。開機后，數(shù)字電控從已連接平臺的ID芯片上讀取數(shù)據(jù)。若平臺的ID芯片包含校準數(shù)據(jù)，則其可被連接至任何合適的數(shù)字電控，無需重新校準。
應(yīng)用領(lǐng)域
光纖對準
顯微鏡應(yīng)用
雙光子聚合
納米技術(shù)和納米制造
| 初步數(shù)據(jù) | P-616.3C | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|
| 運動和定位 | |||
| 主動軸 | X、Y、Z | ||
| 開環(huán)行程，-20至120伏 | 110/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
| 閉環(huán)行程 | 100/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
| 分辨率，1秒，開環(huán)* | 0.3 | 納米 | 典型值 |
| 分辨率，1秒，閉環(huán)* | 0.4 | 納米 | 典型值 |
| 線性誤差，全行程范圍內(nèi)，帶數(shù)字控制器(E-727.3CD) | 0.03 | % | 典型值 |
| 雙向重復(fù)精度，1秒，10%行程范圍內(nèi) | <> | 納米 | 典型值 |
| 雙向重復(fù)精度，1秒，99%行程范圍內(nèi) | <> | 納米 | 典型值 |
| 傳感器 | |||
| 傳感器類型 | 電容式傳感器 | ||
| 機械特性 | |||
| 剛度 | 0.5 | 牛/微米 | ±10 % |
| X/Y/Z向上的空載諧振頻率 | 700 | 赫茲 | ±10 % |
| 帶38克負載的諧振頻率 X / Y / Z | 380 | 赫茲 | ±20 % |
| 帶100克負載的諧振頻率 X / Y / Z | 250 | 赫茲 | ±20 % |
| 推力**， *** | 15 | 牛 |
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| 保持力，被動**， *** | 15 | 牛 |
|
| 允許轉(zhuǎn)矩*** | 0.4 | 牛米 |
|
| 負載能力**** | 300 | 克 |
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| 驅(qū)動特性 | |||
| 陶瓷類型 | PICMAP-885.50 | ||
| 電容 | 1.5/軸 | 微法 | ±20 % |
| 其他 | |||
| 工作溫度范圍 ***** | -20 到 80 | °C | |
| 材料 | 鋁、鋼 | ||
| 尺寸 | 40 × 40 × 40 | 毫米 | |
| 移動質(zhì)量（無負載） | 0.021 | 千克 | |
| 不含電纜的質(zhì)量 | 0.125 | 千克 | |
| 包含電纜在內(nèi)的質(zhì)量 | 0.4 | 千克 | |
| 電纜長度 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
| 連接 | Sub-D25W3（公） |
