偏擺臺用于對動態(tài)有高要求的應(yīng)用
兩條正交偏擺軸,公共旋轉(zhuǎn)中心。并聯(lián)運動設(shè)計可實現(xiàn)兩條軸具有同樣的性能特點。柔性鉸鏈導向可實現(xiàn)無摩擦運動和高剛性。ID芯片支持用于快速啟動。
PICMA®高性能驅(qū)動器
帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、對濕度不敏感、工作溫度高。
應(yīng)用領(lǐng)域
圖像處理,圖像穩(wěn)像。激光束偏轉(zhuǎn)。掃描顯微鏡。材料處理,平版印刷。光學過濾器,光學開關(guān)。
初步數(shù)據(jù) | | | |
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主動軸 | θX、 θY | ||
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集成傳感器 | 應(yīng)變片傳感器 | ||
偏擺角,閉環(huán)(0至120伏時的靜態(tài)運動) | ±17.5 | 毫弧度 | |
開環(huán)分辨率 | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
閉環(huán)分辨率 | 0.2 | 微弧度 | 典型值 |
線性度 | 0.05(單向) | % | 典型值 |
重復精度 | 1(雙向) | 微弧度 | 典型值 |
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諧振頻率,空載 | 2.0 | 千赫茲 | ±20 % |
帶負載時的諧振頻率(帶直徑為12.7 × 3毫米的Zerodur反射鏡) | 1.7 | 千赫茲 | ±20 % |
帶負載時的諧振頻率(帶直徑為25.4 × 5毫米的Zerodur反射鏡) | 0.7 | 千赫茲 | ±20 % |
旋轉(zhuǎn)中心和平臺表面之間的間隙 | 3.3 | 毫米 | ±0.5 毫米 |
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陶瓷類型 | PICMA P-885 | ||
每軸的電容 | 6.2 | 微法 | ±20 % |
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ID芯片功能 | 是 | ||
工作溫度范圍 | 0 到 50 | °C | |
材料 平臺 | 鈦金屬 | ||
質(zhì)量 | 0.065 | 千克 | ±5 % |
電纜長度 | 2.0 | 米 | +0.1米 |
傳感器/電壓連接 | Sub-D37連接器(公頭) |