精密級線性定位平臺
PILine®平臺尤其適合要求快速精密定位的應用。關機后，自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學參考開關測量，該開關允許可靠的可重復運動。壓電電機驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低，可定制。
PILine®超聲波壓電電機
作為PILine®超聲波壓電電機的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預載，通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進給為幾納米每循環(huán)；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預載可確保驅(qū)動器在靜止狀態(tài)下和關機時自鎖。
采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學編碼器以的精度直接在運動平臺上測量實際位置，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
有效
美國號6,765,335B2
歐洲號1267425B1
應用領域
顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內(nèi)的應用、真空應用可達10-6百帕（可選）.
| 初步數(shù)據(jù)
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