精密級(jí)微定位平臺(tái)
Q-Motion®平臺(tái)的尺寸小,位置分辨率高達(dá)納米級(jí)。壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)器原理及其電氣操作的成本效益好,可定制
PIShift壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器
靜止?fàn)顟B(tài)下自鎖,無(wú)熱量產(chǎn)生。速度達(dá)70度/秒。保持力矩為6毫牛米,驅(qū)動(dòng)力矩為5毫牛米
真空和無(wú)磁性環(huán)境
所有Q-Motion平臺(tái)都適用于高真空中的操作,真空可達(dá)10-6 百帕。此外,超高真空變型可適用于10-9 百帕。還可按需提供無(wú)磁性變型
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)和科研。用于計(jì)量、顯微鏡、顯微操縱、生物技術(shù)和自動(dòng)化
初步數(shù)據(jù) | | | | | |
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| 小型轉(zhuǎn)臺(tái)帶用于閉環(huán)操作的位置傳感器 | 小型轉(zhuǎn)臺(tái)不帶位置傳感器 | 小型轉(zhuǎn)臺(tái),不帶位置傳感器,用于超高真空高達(dá)10-9 百帕 | ||
主動(dòng)軸 | θZ | θZ | θZ | ||
旋轉(zhuǎn)范圍 | >360 | >360 | >360 | ° | |
集成傳感器 | 增量編碼器 | – | – | ||
傳感器分辨率 | 0.55 | – | – | 微弧度 | |
最小位移 | 2.2 | 100* | 100* | 微弧度 | 典型值 |
單向重復(fù)精度 | 3 | – | – | ||
速度,開環(huán) | 70 | 70 | 70 | 度/秒 | |
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負(fù)載容量 | 1 | 1 | 1 | 牛 | |
保持力矩,斷電 | 6 | 6 | 6 | 毫牛米 | 最小 |
力矩 | 5 | 5 | 5 | 毫牛米 | 典型值 |
長(zhǎng)度 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
寬度 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
高度 | 10 | 10 | 10 | 毫米 | |
轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 | 22 | 22 | 22 | 毫米 | |
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電機(jī)類型 | 壓電慣性驅(qū)動(dòng)器 | 壓電慣性驅(qū)動(dòng)器 | 壓電慣性驅(qū)動(dòng)器 | ||
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工作溫度范圍 | 0 到 40 | 0 到 40 | 0 到 40 | °C | |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | ||
不含電纜的質(zhì)量 | 15 | 12 | 12 | 克 | |
電纜長(zhǎng)度 | 1 | 1 | 1 | 米 | |
連接器 | Sub-D | Sub-D | Sub-D | ||
推薦控制器 | E-871,E-873 | E-870 | E-870 |