精密級轉(zhuǎn)臺
PILine®平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后,自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學(xué)參考開關(guān)測量,該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運動。壓電電機(jī)驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine®超聲波壓電電機(jī)
作為PILine®超聲波壓電電機(jī)的一部分,壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載,通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時自鎖。
采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運動平臺上測量實際位置,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
有效
美國號為6,765,335B2
歐洲號為1267425B1
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操作、樣本定位、空間有限的應(yīng)用、光學(xué)計量,真空應(yīng)用達(dá)10-6 百帕(可選)
| | | |
---|---|---|---|
| |||
主動軸 | θZ | ||
旋轉(zhuǎn)范圍 | >360 | ° | |
速度,閉環(huán) | 720 | 度/秒 |
|
最小位移 | 51 | 微弧度 | 典型值 |
雙向重復(fù)性 | ±102 | 微弧度 | |
| |||
傳感器類型 | 增量編碼器 | ||
傳感器分辨率 | 17 | 微弧度 | |
| |||
負(fù)載能力/軸向力 | 5 | 牛 |
|
保持力矩 | 0.03 | 牛米 |
|
| |||
電機(jī)類型 | PILine®超聲波壓電電機(jī),性能級別1 | ||
順時針/逆時針驅(qū)動力矩(θZ) | 0.025 | 牛米 |
|
| |||
電機(jī)/傳感器 | 1×Sub-D,15-針(公) | ||
| |||
參考點開關(guān) | 光學(xué) | ||
工作溫度 | 0 到 40 | °C | |
材料 | 鋁(黑色陽極氧化) | ||
質(zhì)量 | 300 | 克 | ±5 % |
電纜長度 | 1.5 | 米 | 典型值 |