精密級納米定位系統(tǒng)
雙軸,串聯(lián)運動。帶機械杠桿運動放大器的無摩擦柔性鉸鏈接頭。電容式位置傳感器實現(xiàn)穩(wěn)定性和線性度
PICMA高性能壓電陶瓷驅(qū)動器
帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、防潮性能佳、工作溫度達80攝氏度
應(yīng)用領(lǐng)域
科研和工業(yè)中的樣本操作和定位,也適用于透射光應(yīng)用
初步數(shù)據(jù) | P-763.22C | |
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主動軸 | X, Y | |
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集成傳感器 | 電容式傳感器 | |
X、Y向上的閉環(huán)行程 | 200 | 微米 |
X、Y向上的開環(huán)分辨率 | 1 | 納米 |
X、Y向上的閉環(huán)分辨率 | 2 | 納米 |
X、Y向上的線性誤差 | 0.02 | % |
X、Y向上的重復(fù)精度 | ±5 | 納米 |
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帶負(fù)載時X向上的諧振頻率 | 180赫茲(260克) | 赫茲 |
負(fù)載容量 | 10 | 牛 |
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壓電陶瓷 | PICMA P-887 | |
X、Y向上的電容 | 12.8 | 微法 |
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工作溫度范圍 | -20 到 80 | °C |
材料 | 鋁、鋼 | |
尺寸 | 70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米 | |
通孔尺寸 | 30毫米×30毫米 | |
電纜長度 | 1.5 | 米 |
連接 | 1個Sub-DMix,1個通道,分別用于X和Y軸 |