精密級線性定位平臺
PILine®平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后,自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個編碼器和一個光學(xué)參考開關(guān)測量,該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動。壓電電機(jī)驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine®超聲波壓電電機(jī)
作為PILine®超聲波壓電電機(jī)的一部分,壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載,通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時自鎖。
采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運(yùn)動平臺上測量實際位置,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
有效
美國號為6,765,335B2
歐洲號為1267425B1
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操作、樣本定位、空間有限的應(yīng)用、真空應(yīng)用達(dá)10-6 百帕(可選)。
| U-521.23 | U-521.24 | 單位 | 公差 |
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主動軸 | x | x | ||
行程 | 18 | 18 | 毫米 | |
速度,閉環(huán) | 200 | 200 | 毫米/秒 |
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最小位移 | 2 | 0.3 | 微米 | 典型值 |
系統(tǒng)分辨率 | 0.4 | 0.1 | 微米 | |
雙向重復(fù)性 | ±2 | ±0.2 | 微米 | |
線性誤差(全行程范圍內(nèi)) | 8 | 4 | 微米 | |
螺距 | ±300 | ±300 | 微弧度 | |
偏轉(zhuǎn)角 | ±300 | ±300 | 微弧度 | |
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傳感器類型 | 增量編碼器 | 增量編碼器 | ||
測量原理 | 光學(xué) | 光學(xué) | ||
測量方法 | 直接測量 | 直接測量 | ||
傳感器分辨率 | 0.4 | 0.1 | 微米 | 典型值 |
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推力 | 2 | 2 | 牛 |
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拉力 | 2 | 2 | 牛 |
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電機(jī)類型 | PILine®超聲波壓電電機(jī),性能級別1 | PILine®超聲波壓電電機(jī),性能級別1 | ||
驅(qū)動力 | 2 | 2 | 牛 |
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保持力 | 2 | 2 | 牛 |
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電機(jī)/傳感器 | 1×Sub-D,15-針(公) | 1×Sub-D,15-針(公) | ||
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參考點(diǎn)開關(guān) | 光學(xué) | 光學(xué) | ||
工作溫度 | 0 到 40 | 0 到 40 | °C | |
材料 | 鋁,陽極氧化致黑 | 鋁,陽極氧化致黑 | ||
質(zhì)量(平臺不帶電纜和連接器(公頭)) | 40 | 40 | 克 | |
質(zhì)量(平臺帶電纜和連接器(公頭)) | 160 | 160 | 克 | |
電纜長度 | 1.5 | 1.5 | 米 | 典型值 |